带电粒子线装置

摘要

本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。

主权项

一种带电粒子线装置，具备将从带电粒子源发射的带电粒子线入射至试样上的带电粒子光学系统、用于对上述带电粒子光学系统进行排气的真空排气结构，上述带电粒子线装置的特征在于，上述真空排气结构具备：设置有上述带电粒子源的真空室；与上述真空室连接的真空配管；经由上述真空配管而连接，并对上述真空室内进行排气的主真空泵；设置于上述真空配管的上述真空室与上述主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于上述真空配管的上述真空室与上述非蒸发吸气泵之间的位置的粗排气口，该粗排气口具备打开关闭上述粗排气口的粗排气用阀和用于将上述真空室进行大气开放的漏泄阀。