发明名称 位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置
摘要 本发明提供位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置。按压量检测传感器(20)具备压电薄膜(201)、形成有电极的保护薄膜(202、203)、粘合层(204、205)。形成有电极的保护薄膜(202、203)经由粘合层(204、205)与压电薄膜(201)粘合,以使得分别使电极(222、232)位于压电薄膜(201)侧。粘合层(204、205)的相对介电常数(ε<sub>a</sub>)比压电薄膜(201)的相对介电常数(ε<sub>p</sub>)高。而且优选粘合层(204、205)的每单位面积的静电电容比压电薄膜(201)的每单位面积的静电电容高,为约2倍以上较好。为了抑制检测灵敏度的降低并且抑制电极的剥落以及气泡等的产生,将粘合层(204、205)的厚度设定在规定厚度范围内。
申请公布号 CN105190224A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201480016509.3 申请日期 2014.03.19
申请人 株式会社村田制作所 发明人 河村秀树;安藤正道
分类号 G01B7/16(2006.01)I;G01D5/14(2006.01)I;G01L1/16(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I 主分类号 G01B7/16(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 舒艳君;李洋
主权项 一种位移传感器,其中,具备:压电薄膜,其产生与位移量对应的电荷;电极,其被配置成与所述压电薄膜对置;以及粘合层,其夹在所述压电薄膜与所述电极之间,所述粘合层的相对介电常数比所述压电薄膜的相对介电常数高。
地址 日本京都府