一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘

摘要

本发明涉及LED衬底制造领域，具体是一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘，包括上托盘，下托盘，其特征在于：下托盘，具有衬底支撑单元，每个单元相对凸起于表面，且单元中心及周边位置带有通气孔；上托盘，将衬底固定于下托盘支撑单元之上；下托盘支撑单元与衬底间、支撑单元底部与上托盘间由密封环支撑密封，形成独立的密封空间，支撑单元中心及周边位置的通气孔通入惰性导热气体，对所述两个密封空间、衬底表面以及上盘进行散热。本发明在不增加托盘整体面积的情况下大大增加了衬底摆放工位数，提高生产效率，改善了衬底散热效果，减小边缘效应影响，以提高产品一致性及生产良率。

主权项

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘，包括上托盘，下托盘，其特征在于：下托盘，具有衬底支撑单元，每个单元相对凸起于表面，且单元中心及周边位置带有通气孔；上托盘，将衬底固定于下托盘支撑单元之上；下托盘支撑单元与衬底间、支撑单元底部与上托盘间由密封环支撑密封，形成独立的密封空间。