一种激光直写式光刻机精确温度控制方法

摘要

本发明提供一种激光直写式光刻机精确温度控制方法，包括如下步骤：采集曝光区域当前温度和水冷设备出水口当前温度；拟合出曝光区域温度变化曲线；计算水冷设备出水口理论目标温度；调整水冷设备出水口温度设定值；监视水冷设备出水口温度并拟合水冷设备出水口温度变化曲线；微调水冷设备出水口当前温度。本发明解决了温度控制系统中的高延时性问题，实现了激光直写式光刻机曝光区域环境温度的稳定控制和精确控制，使最终目标区域温度稳定的控制在±0.1℃。

主权项

一种激光直写式光刻机精确温度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：1）通过温度传感器采集曝光区域当前温度和水冷设备出水口当前温度到工控机；2）根据采集到的曝光区域一段时间内历史的温度数据拟合出曝光区域温度变化曲线，通过工控机对温度数据进行分析计算出水冷设备出水口理论目标温度；3）对步骤2）拟合的曝光区域温度变化曲线进行判断分析调整水冷设备出水口目标设定温度；4）监视水冷设备出水口温度并拟合水冷设备出水口温度变化曲线；5）对步骤4）拟合的水冷设备出水口温度变化曲线进行判断分析，工控机通过调整水冷设备的设定来调整出水口温度。