天线效应放电回路及其制造方法

摘要

本发明公开了一种天线效应放电回路及其制造方法，该天线效应放电电路，具有图案化导体层，其可暴露在工艺中的电荷感应环境。天线效应放电电路具有一端及一栅极，该端连接装置上的一节点，节点受保护以避免电荷累积，栅极例如是电路中场效应晶体管的栅极，累积的电荷可经由该端放电到基板上。一电容耦接在天线效应放电电路的栅极至基板。一电压供应电路，用以提供电压，在装置的操作期间，此电压足够于关闭状态偏置天线效应放电电路。上层的一图案化导体(较佳为最上层)连接天线效应放电电路的栅极与电压供应电路。

主权项

一种装置，包括：一基板；多个图案化导体层及层间连接器，位于该基板上，这些层包括一上层及一个或多个下层；一天线效应放电电路，位于基板上且具有一栅极；一电容，具有一第一端及一第二端，该第一端位于该基板内或连接于该基板，该第二端连接到该栅极；一电压供应电路，配置成能提供一电压，该电压足够在运作时的一关闭状态偏置该天线效应放电电路；以及该上层内的一图案化导体连接该栅极及该电压供应电路。