一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺

摘要

本发明涉及微惯性导航技术领域，具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构；所述分体式质量块结构包括一内质量块及一外质量块，所述内质量块与外质量块通过检测梁连接。本发明将隧道磁阻效应检测与陀螺哥氏效应相结合，结构简单、合理、紧凑，适合于微小型化。

主权项

一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构。