| 发明名称 | 一种低温泵 | ||
| 摘要 | 本发明涉及到一种低温泵，其包括法兰（1），与法兰（1）连接的真空腔体（2）、与真空腔体(1)连接的制冷机（3），其中，所述真空腔体（2）内还设有冷伞吸附组件(4)，所述冷伞吸附组件（4）通过其上的顶盖（7）固定在真空腔体（2）的顶部，所述冷伞吸附组件(4)包含中心板（10），阵列排布冷伞片(20)。制冷机（3）包含一级冷头、二级冷头。其中，制冷机（3）的一级冷头用于给80屏（6）和一级挡板（5）制冷，制冷机（3）的二级冷头用于给冷伞吸附组件（4）制冷。本发明的有益效果是：1、有效的提高低温泵抽取真空腔体内气体的速率；2、改善真空腔体内部的真空度；3、减少低温泵的制作和维修成本。 | ||
| 申请公布号 | CN105179199A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201510721110.1 | 申请日期 | 2015.10.30 |
| 申请人 | 上海优拓低温技术有限公司 | 发明人 | 毛文瑞 |
| 分类号 | F04B37/08(2006.01)I | 主分类号 | F04B37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人 | 周涛 |
| 主权项 | 一种低温泵，其包括法兰（1），与法兰（1）连接的真空腔体（2）、与真空腔体(1)连接的制冷机（3），其特征在于，所述真空腔体（2）内还设有冷伞吸附组件(4)，所述冷伞吸附组件（4）通过其上的顶盖（7）固定在真空腔体（2）的顶部，所述冷伞吸附组件(4)包含中心板（10），阵列排布冷伞片 (20，所述制冷机（3）包含一级冷头、二级冷头。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区常青工业园园区北路315弄118号 | ||