高精度镜间隔调整环的测量方法及装置

摘要

高精度镜间隔调整环的测量的方法及装置，涉及超精密光机系统测量技术领域，解决现高精度光刻投影物镜中高精度镜间隔调整环的测量方法，检测精度低，无法实现1μm以下的公差的检测问题，包括三坐标测量机，设置在工作台面上的第一球形支撑点和第二球形支撑点和第三球形支撑点，高精度镜间隔调整环设置于由第一球形支撑点球心顶点、第二球形支撑点球心顶点和第三球形支撑点球心顶点所确定的平面上，第一球形支撑点球心顶点、第二球形支撑点球心顶点和第三球形支撑点球心顶点所确定的平面与三坐标测量机的运动方向垂直；第二球形支撑点和第三球形支撑点在水平和竖直方向运动。所述的方法提高了高精度镜间隔调整环的加工和检测效率。

主权项

高精度镜间隔调整环的测量方法，其特征是，包括三坐标测量机(1)，设置在工作台面(5)上的第一球形支撑点(2)和第二球形支撑点(3)和第三球形支撑点(4)，所述第一球形支撑点(2)、第二球形支撑点(3)和第三球形支撑点(4)球心顶点所确定的平面与三坐标测量机(1)的运动方向垂直；该方法由以下步骤实现：步骤一、调整第二球形支撑点(3)和第三球形支撑点(4)在工作台面上的水平位置和竖直位置，使第一球形支撑点(2)和第二球形支撑点(3)、第三球形支撑点(4)的球心顶点所确定的圆的直径与高精度镜间隔调整环(6)的直径相同；步骤二、所述三坐标测量机(1)测量第一球形支撑点(2)的球心坐标和顶点坐标，获得第一球形支撑点(2)的球心坐标和顶点坐标，将三坐标测量机(1)调节至第一球形支撑点(2)球心的正上方；步骤三、将高精度镜间隔调整环(6)设置于第一球形支撑点(2)、第二球形支撑点(3)和第三球形支撑点(4)的球心顶点所确定的平面上，所述三坐标测量机(1)沿所述第一球形支撑点(2)球心正上方竖直向下运动，当三坐标测量机(1)的测头与高精度镜间隔调整环(6)接触时，获得触发点的坐标值；步骤四、所述触发点的坐标值与步骤二中第一球形支撑点(2)顶点坐标值的差值为高精度镜间隔调整环(6)对应点的厚度值；步骤五、依次旋转高精度镜间隔调整环(6)，重复步骤三和步骤四，获得高精度镜间隔调整环(6)周向的厚度值分布；实现对高精度镜间隔调整环(6)的测量。