压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置

摘要

本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。

主权项

一种压电驱动式阀，具有：阀本体，其具备流体流路；阀体，其用于将流体流路开闭；压电致动器，其用于利用压电元件的伸长而对所述阀体进行开闭驱动；散热隔件，其用于将所述压电致动器以从所述流体流路远离的方式举起并支撑，并且将从流动于所述流体流路的流体向所述压电致动器传导的热散热；以及支撑筒体，其容纳并支撑所述压电致动器和所述散热隔件双方，并且以能够相对于所述阀本体上下运动的方式被支撑，该支撑筒体由具有与该散热隔件相同的热膨胀系数的材料形成，所述阀体由自身弹性复位型的金属隔膜形成，具有：弹性部件，其对所述支撑筒体施力，使得所述阀体将所述流体流路闭锁；以及支撑部，其通过所述支撑筒体的侧壁而延伸至所述散热隔件的下部，支撑所述散热隔件，从而在所述压电致动器伸长时，抵抗所述弹性部件的弹性力而将所述支撑筒体举起，所述阀体使所述流体流路开通，所述散热隔件的下端部和上端部之间的长度被设定成，通过从流动于所述流体流路的流体受到的热从该散热隔件的所述下端部向所述上端部传热期间的散热，使得该上端部的温度成为所述压电致动器的耐热温度以下。