透射电镜微栅的制备方法

摘要

本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括：提供一碳纳米管层，所述碳纳米管层包括多个微孔及相对的第一表面及第二表面；在所述碳纳米管层的第一表面电镀一第一金属层；在所述碳纳米管层的第二表面电镀一第二金属层；及刻蚀所述第一金属层及第二金属层，形成多个第一通孔及第二通孔相对设置于所述碳纳米管层的第一表面及第二表面。

主权项

一种透射电镜微栅的制备方法，包括：提供一碳纳米管层，所述碳纳米管层具有相对的第一表面及第二表面，该碳纳米管层包括多个碳纳米管，至少部分碳纳米管间隔设置形成多个微孔；在所述碳纳米管层的第一表面和第二表面分别电镀形成一第一金属层和一第二金属层；以及刻蚀所述第一金属层及第二金属层，在第一金属层及第二金属层分别形成多个第一通孔和多个第二通孔，所述碳纳米管层的第一表面通过所述多个第一通孔部分暴露，所述碳纳米管层的第二表面通过所述多个第二通孔部分暴露。