一种AlCrSiON纳米复合刀具涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种AlCrSiON纳米复合刀具涂层及其制备方法，属于薄膜材料技术领域；本发明的AlCrSiON纳米复合刀具涂层成分如下：Al：10~31 at.%，Cr：20~40 at.%，Si：4~15 at.%，O： 3~25 at.%，N：25~47 at.%；其制备方法是采用阴极电弧离子镀技术，在高速钢或者硬质合金刀具表面镀覆AlCrSiON纳米复合刀具涂层制备而成，该AlCrSiON刀具纳米复合涂层通过有意识的引入氧元素来做涂层，实现性能提升的目的，具有高硬度，低摩擦系数，优越的抗高温氧化及刀具切削性能，在高速切削及表面防护领域具有重大的应用前景。

主权项

一种AlCrSiON纳米复合刀具涂层，其特征在于：由如下重量百分含量的成分组成：Al  10~31 at.%，Cr  20~40 at.%，Si  4~15 at.%，O  3~25 at.%，N  25~47 at.%。