一种非对称压电驱动的宏微定位工作台

摘要

本实用新型涉及一种非对称压电驱动的宏微定位工作台。宏动部分采用步进电机做原动件，滚珠丝杆副、光轴做传动装置；其特征是：步进电机安装到电机支座上，步进电机与丝杆通过联轴器相连，电机座、宏动轴承与轴承座，光杆及光杆支座安装在底座上；丝杆滑块作为宏动工作台，通过丝杆螺母与丝杆相连；微动部分采用压电非对称惯性驱动器作为驱动元件，其特征在于：直线导轨通过螺栓与宏动工作台相连，滑块配合在导轨上，微动工作台通过螺钉与滑块相连，压电双晶片通过螺栓固定在微动工作台上，当给压电双晶片施加电信号时非对称惯性驱动器实现高精度位移输出。本实用新型具有结构简单、行程大、精度高等特点。

主权项

一种非对称压电驱动宏微定位工作台，宏动部分采用步进电机作为原动件，大导程滚珠丝杆副和光轴做传动装置；其特征是：步进电机安装到电机支座上，步进电机与丝杆通过联轴器相连，光杆及光杆支座安装在底座上，丝杆滑块作为宏动工作台，通过丝杆螺母与丝杆相连；微动部分采用压电非对称惯性驱动器作为原动件，直线导轨，滑块作为传动部分，其特征在于：直线导轨通过螺栓与宏动工作台相连，滑块配合在导轨上，微动工作台通过螺钉与滑块相连，压电双晶片通过螺栓固定在微动工作台上。