静电吸附盘及其半导体设备

主权项

一种静电吸附盘，系用以吸附一工作件，该静电吸附盘包含：一陶瓷层；以及一电极层，包括一第一电极及一第二电极，系位于该陶瓷层内；其中该第一电极及该第二电极系以交插或交错的方式布置，又该第一电极之面积和该第二电极之面积比值为1~1.6；其中该陶瓷层和该工作件之间或该陶瓷层表面的均方根(Root Mean Square；RMS)粗糙度系介于0.2μm~2μm。