| 发明名称 | 具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI513981 | 申请公布日期 | 2015.12.21 |
| 申请号 | TW103139411 | 申请日期 | 2014.11.13 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 苏中源;郭秦辅;李宗璟;黄肇达 |
| 分类号 | G01P15/02;B60C29/00;B81B7/02;B81C1/00 | 主分类号 | G01P15/02 |
| 代理机构 | 代理人 | 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹东颖 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;刘亚君 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 | |
| 主权项 | 一种微机电装置，适用于同时量测压力及惯性物理量，该微机电装置包括：基板，具有第一表面；第一盖体，设置于该基板上，且该第一盖体与该基板定义第一气密空腔；第一感测单元，包含悬浮于该基板上方的可动质量块；第二盖体，设置于该基板上，且该第二盖体与该基板定义第二气密空腔；其中，该第一气密空腔包覆该第一感测单元，该第一感测单元设置于该第二气密空腔之外，且该第一气密空腔中的气压与该第二气密空腔中的气压不同。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||