发明名称 薄膜电晶体构造,及具备该构造之薄膜电晶体与显示装置
摘要
申请公布号 TWI514586 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW101114157 申请日期 2012.04.20
申请人 神户制钢所股份有限公司 发明人 前田刚彰;钉宫敏洋
分类号 H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种薄膜电晶体构造,系在基板上至少从基板侧开始,依序具备氧化物半导体层、源极和汲极电极、及保护膜之薄膜电晶体构造,其特征为:前述氧化物半导体层,系为第1氧化物半导体层,形成于源极和汲极电极及保护膜侧;以及第2氧化物半导体层,其金属元素系由从In、Ga、及Zn所成之群体当中所选择之至少1种元素所构成,且形成于基板侧之层积体,且前述第1氧化物半导体层,系与前述源极和汲极电极及保护膜直接接触,前述第1氧化物半导体层,其金属元素系仅由Zn所构成,或是由Zn以及从Al、Ga、及Sn所成之群体当中所选择之1种以上元素所构成,且Zn含有量占金属元素全体的50原子%以上(不包括100原子%)。
地址 日本