| 摘要 |
水と３０℃〜８０℃の曇点を持つ水溶性ポリアルキレングリコール（ＰＡＧ）とを含む水性切削流体。本切削流体は水性であり、すなわち、切削流体は少なくとも５０重量パーセント（重量％）の水を含む。本切削流体は、シリコンインゴットの切断のためのダイヤモンドワイヤーソーとの使用に好適である。本流体は、低い水素発生、ウエハの洗浄問題がないこと、優れた潤滑性、良好な冷却効率、良好な加工屑の中断性および分散性、低発泡のうちの１つ以上を示し、一般的に金属イオンに対し非感受性であり、かつ不燃性である。【選択図】なし |
