| 发明名称 |
防尘薄膜组件及其安装方法、设有防尘薄膜组件之光罩与光罩 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI513590 |
申请公布日期 |
2015.12.21 |
| 申请号 |
TW100110397 |
申请日期 |
2011.03.25 |
| 申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
白崎享 |
| 分类号 |
B32B7/12;G03F7/11 |
主分类号 |
B32B7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 |
| 主权项 |
一种防尘薄膜组件，具有：防尘薄膜；防尘薄膜组件框架，于其一端面张设该防尘薄膜，而其另一端面开放；以及黏着层，用于将该防尘薄膜组件框架黏着于光罩；其特征为：该黏着层设于该防尘薄膜组件框架之内周面，仅可黏着于表面具有光罩图像之光罩的侧面。
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| 地址 |
日本 |
