振動が制御される基板ハンドリングロボット、システム及び方法

摘要

実施形態は、振動が制御されるロボット装置を開示する。本装置は、基板を搬送するように動作可能なエンドエフェクタを有するロボット、ロボットに連結されたセンサであって、ロボットが基板を搬送するときに振動を感知するように動作可能なセンサ、及び基板を支持するエンドエフェクタの振動を減少させるようにロボットを動作させることを含む。幾つかの実施形態において、エンドエフェクタの望ましくない振動を引き起こす一つ又は複数の振動をフィルタ処理するために、フィルタがモータ駆動回路の中に設けられる。振動制御システムと、それを動作させる方法が、他の態様と同様に、提供される。【選択図】図１