金属－绝缘体－金属电容器及其形成之方法

主权项

一种形成金属-绝缘体-金属电容器之方法，包含：于一隔离层之上方形成一闸极堆叠，该闸极堆叠包含一闸极金属以作为一底电极；于该闸极堆叠之上方形成一介电层；于该介电层之上方形成一顶部金属层，该顶部金属层作为一顶电极；以及形成一第一接触插塞以电性连接至该闸极金属，该第一接触插塞穿透该介电层与该顶部金属层。