离子植入方法、搬送容器及离子植入装置

主权项

一种离子植入方法，其特征为，包括：配置制程，在大气中，将与收容太阳能电池用基板之托盘一体使用之掩模，以相对前述基板定位之状态配置于第1位置或第2位置，前述第1位置为覆盖该基板表面的局部区域之位置，前述第2位置为从前述基板表面退避之位置；及第1植入制程，在真空中，以前述掩模处于前述第1位置之状态，对前述基板表面的第1区域进行离子植入；及第2植入制程，在真空中，以前述掩模处于前述第2位置之状态，对前述基板表面的第2区域进行离子植入。