用以利用带电粒子束微影术以多个暴露回合使图样破碎的方法与系统

主权项

一种用于带电粒子束微影术之分裂或遮罩资料准备的方法，其系包含下列步骤：输入要被写入到一表面之一形状；以及决定用于多个暴露回合之每一者的一带电粒子束射击，其中用于该等多个暴露回合的该等射击将会在一涂阻剂表面上形成该形状，以及其中暴露该涂阻剂表面之一剂量对于每个暴露回合而言系刻意地不同。