研磨用組成物

摘要

本発明は、ゲルマニウム材料を含有する部分を有する研磨対象物を研磨した際、エッチングを原因とした段差が研磨対象物の表面に生じるのを抑えることができる研磨用組成物を提供する。本発明の研磨用組成物は、砥粒、酸化剤、および水溶性重合体を含有する。水溶性重合体は、砥粒の表面積１μｍ２あたり５０００個以上の分子が吸着するものであってもよい。あるいは、研磨用組成物を用いて研磨対象物を研磨した後の研磨対象物のゲルマニウム材料を含有する部分の水接触角を小さくするような化合物であってもよい。