発光素子の製造方法

摘要

発光素子は、光透過性を有する基板に発光層を含む窒化物半導体層が積層され、半導体層に、Ａｇ層を含む反射電極が積層されている。アニール処理として、前工程として第１アニール工程と、後工程として第２アニール工程とを行う。第１アニール工程では、雰囲気ガスとして、不活性ガスである窒素ガスによりアニールする。第２アニール工程では、酸素ガスを含むガスを雰囲気ガスとしてアニールする。アニール処理を２段階で行うことで、Ａｇ層の皺の発生を減少でき、表面粗さを抑えることができる。