| 摘要 |
본 발명은 과립상 폴리실리콘의 제조를 위한 유동층 반응기로서, 과립상 폴리실리콘을 가지는 유동층을 위한 내부 반응기 파이프 및 반응기 베이스를 가지는 용기, 상기 내부 반응기 파이프 내의 유동층을 가열하기 위한 가열 장치, 유동화 가스 공급을 위한 상기 반응기 베이스 내의 하나 이상의 개구 및 반응 가스 공급을 위한 상기 반응기 베이스 내의 하나 이상의 개구, 반응기 폐가스 배출을 위한 장치, 실리콘 입자 공급을 위한 공급 장치, 및 과립상 폴리실리콘에 대한 제거 파이프를 포함하고, 라발 노즐이 공급되는 하나 이상의 매스 흐름을 초임계적으로 팽창시키도록 상기 내부 반응기 파이프 밖에 상기 반응기 베이스 내 개구들 중 하나 이상 앞에 배치되는 유동층 반응기에 관한 것이다. |
