发明名称 强酸加热器改进结构
摘要
申请公布号 TWM514650 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW104215626 申请日期 2015.09.29
申请人 柏夫企业有限公司 发明人 连汉滨
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 刘蓥英 高雄市鼓山区明华路251号6楼
主权项 一种强酸加热器改进结构,系由一蒸汽分配室及一复管加热器所构成,其中: 该蒸汽分配室具有蒸汽入口、前段蒸汽室、后段蒸汽室及蒸汽出口; 该复管加热器包含一加热管承座及复数根加热管,该加热管系由芯管及外管所构成之双层管; 该芯管下端连通前段蒸汽室,该外管下端则连通后段蒸汽室;特别的是,上述各加热管系用钽合金制备而成,加热管承座则用钛合金制作; 利用蒸汽循环于蒸汽分配室及复管加热器的各个加热管内,令该些加热管成为主要的加热部位;将该复管加热器与强酸容器连结后,以加热管浸入强酸液中施以加热作用。
地址 高雄市大寮区内坑村内坑路9-39号