| 主权项 |
在一微影系统中一晶圆(1)被加工处理期间用以支撑该晶圆的晶圆台(8)，该晶圆台(8)包含一设有突粒部位(7)以用于支撑该晶圆(1)的顶侧(2)，其中该等突粒部位具有一高度以用于将介于该晶圆(1)与该晶圆台(8)的该顶侧(2)之间的一标称相互距离保持在0.1微米与10微米之间，其中该标称相互距离系当该晶圆被支撑于该等突粒部位(7)上时介于该顶侧(2)与该晶圆(1)之间之一间隙的高度(h)，其中该晶圆台经配适以在介于该晶圆台(8)之该顶侧(2)与该晶圆(1)之间的该间隙中包含一保持固定的液体层(3)，该晶圆台(8)包含一沿着周围被安置于该晶圆台之一晶圆运送部分(2)的周围边沟，该边沟的宽度是大于该间隙之该高度(h)，其中该晶圆台之一外部边缘包含一环，当该晶圆(1)系由该等突粒部位(7)所支撑时，该环被配置成相对于该晶圆(1)而留下一极小的垂直距离(9B)，其中该极小的垂直距离(9B)系小于该间隙之高度(h)。
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