在微影系统中用于转移基板的设备

主权项

一种在一微影系统内用于转移基板之设备，该微影系统系包括与基板供应系统介接以用于接收未受夹箝的基板的介面以及用于夹箝未受夹箝的基板到基板支承结构之上的基板预备单元以形成一受钳夹的基板；其中该设备系包括主体，该主体系设置有用于携载并转移未受夹箝的基板之第一组指部，该主体进一步系设置有第二组指部以用于携载并转移一受钳夹的基板之；以及其中该第一组指部的指部具有不同于该第二组指部的指部之形状。