主权项 |
一种空间光调变器成像系统,包含:一照明模组,其配置以提供照明光,该照明光呈现将由该空间光调变器成像系统成像之资料图案,其中该照明模组包含:复数个雷射二极体,其配置以产生该照明光;复数条光纤束,其配置以将该照明光传送至该照明-投影光束分离器;及一导光筒,其配置以均化传导(holds)该复数条光纤束;一投影模组,其配置以将该照明光投射至一基板;及一照明-投影光束分离器,其系耦接于该照明模组与该投影模组之间,其中该照明-投影光束分离器配置以沿一照明光轴接收该照明光,并将所接收之该照明光沿一投影光轴传送至该投影模组,其中该照明光轴与该投影光轴彼此实质平行。
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