驱动装置及基板处理系统

主权项

一种驱动装置，系具备有：盒体；第1马达，系具有于该盒内沿着第1轴线而延伸之输出轴，该输出轴包含有具螺旋状设置之肋部的外周面；第2马达，系具有于该盒内沿着和第1轴线相平行之第2轴线而延伸之输出轴，该输出轴包含有具螺旋状设置之肋部的外周面；第1输出轴，系具有：第1轴体，具有在该第1轴线与该第2轴线之间沿着相对于该第1轴线以及该第2轴线在垂直方向上延伸之第3轴线而延伸设置之圆筒形状，包含有从该盒体延伸至外部之一端部、以及收容于该盒内之他端部；以及，滚子从动件，系设置于该他端部之外周面者，和该第1马达之该肋部以既定减速比来卡合；第2输出轴，系具有：第2轴体，系以通过该第1轴体之内孔的方式来和该第1轴体以同轴设置，包含有从该盒体往延伸至外部之一端部、以及从该第1轴体之内孔往该盒内延伸出之他端部；以及，滚子从动件，系设置于该第2轴体之该他端部者，和该第2马达之该肋部以既定减速比来卡合；第1密封构件，系配置于该盒体与该第1轴体之该外周面之间；以及第2密封构件，系配置于该第1轴体之内周面与该第2轴体之外周面之间。