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一种电子材料用研磨液，其用于使用研磨垫对电子材料中间物进行研磨的步骤的研磨液，且其含有：中和盐(AB)；研磨粒子(C)；以及水，其中该中和盐(AB)是分子内具有至少1个酸基(X)的酸性化合物(A)、以及质子加成反应中的生成热变化(Q2)为10kcal/mol~152kcal/mol的含氮硷性化合物(B)的盐，且该中和盐(AB)是该酸基(X)的酸解离反应中的生成热变化(Q1)为3kcal/mol~200kcal/mol的中和盐，并且该中和盐(AB)的浓度为0.01wt%~4wt%，该研磨粒子(C)的浓度为1wt%~40wt%，该中和盐(AB)对于该研磨粒子(C)的比例为0.001~0.1。 |
