| 摘要 |
バルブ（１０１）は、下弁筐体（１９２）とダイヤフラム（１２０）と上弁筐体（１９１）とを有している。下弁筐体（１９２）の底面には圧電ポンプ（１０）の上面が接着されている。ダイヤフラム（１２０）には、下弁筐体（１９２）の突出部（１３８）に対向する領域の中心部に円形の孔部（１２１）が設けられている。ダイヤフラム（１２０）は、上弁筐体（１９１）及び下弁筐体（１９２）に接着され、弁筐体（１３０）内を分割して、第１下バルブ室（１３１）と第２下バルブ室（１３２）と第１上バルブ室（１３３）と第２上バルブ室（１３４）とを構成する。第１上バルブ室（１３３）においてダイヤフラム（１２０）に対向する上弁筐体（１９１）の壁部１９０内には、溝（１４０）が設けられている。 |
