基板めっき治具及びそれを利用しためっき装置

摘要

本発明は、基板のめっき処理に使用されるめっき治具及びめっき装置に関するものであり、基板ホルダの回転駆動手段を有するとともに、支持部と一体にめっき槽に着脱可能なめっき治具と、それを利用するめっき装置の提供を目的とする。当該めっき治具は、めっき槽側壁に掛着可能に形成された支持部と、該支持部に垂直回転自在に設けられた基板ホルダからなり、前記基板ホルダの回転手段を備えたことを特徴とするめっき治具である。