| 发明名称 |
机台状况定性监测方法及错误侦测分类系统 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI514497 |
申请公布日期 |
2015.12.21 |
| 申请号 |
TW102131760 |
申请日期 |
2013.09.04 |
| 申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
何家栋;蔡柏沣;陈俊仁;李资良;王若飞;牟忠一;林进祥 |
| 分类号 |
H01L21/67;G06F11/30 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
| 主权项 |
一种机台状况定性监测方法，上述方法包括：接收关联于一积体电路制造程序机台执行在晶圆上的一程序之资料；以及使用上述资料监测上述积体电路制造程序机台的一状况；其中上述监测包括：依据一异常识别条件及一异常筛选条件，评估上述资料，其中上述异常识别条件定义一第一资料行为，其指出上述积体电路制造程序机台之一异常行为，以及上述异常筛选条件定义一第二资料行为，其指出上述积体电路制造程序机台之一真正异常行为；以及依据上述第一资料行为、上述第二资料行为以及一异常阈值，决定上述被评估资料是否达到一警示阈值。
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
