发明名称 |
场效电晶体,其制造方法及使用其等之电子装置 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI514570 |
申请公布日期 |
2015.12.21 |
申请号 |
TW099111024 |
申请日期 |
2010.04.09 |
申请人 |
三菱化学股份有限公司 |
发明人 |
大关阳介;酒井良正;大野玲 |
分类号 |
H01L29/78;H01L29/41;H01L21/336;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
主权项 |
一种场效电晶体,其系至少包括基板、藉由涂布法而形成之半导体层、源极电极及汲极电极者;其特征在于:于平行于通道长度方向、且垂直于基板之剖面,源极电极及/或汲极电极具有锥形(taper),该锥形相对于上述基板之角度为30°以下。
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地址 |
日本 |