发明名称 场效电晶体,其制造方法及使用其等之电子装置
摘要
申请公布号 TWI514570 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW099111024 申请日期 2010.04.09
申请人 三菱化学股份有限公司 发明人 大关阳介;酒井良正;大野玲
分类号 H01L29/78;H01L29/41;H01L21/336;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种场效电晶体,其系至少包括基板、藉由涂布法而形成之半导体层、源极电极及汲极电极者;其特征在于:于平行于通道长度方向、且垂直于基板之剖面,源极电极及/或汲极电极具有锥形(taper),该锥形相对于上述基板之角度为30°以下。
地址 日本