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发明名称 支持板之洗净方法
摘要
申请公布号 TWI514504 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW099123648 申请日期 2010.07.19
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 御岳达弘;宫成淳;稻尾吉浩
分类号 H01L21/68;H01L21/304 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种支持板之洗净方法，系将藉由贴合在被薄化之基板而用以支持该基板予以洗净之支持板的方法，其特征为：包含在对上述支持板进行氧电浆处理之装置为单片式，将支撑板予以钉住(pin up)之状态下，使氧电浆接触于该支持板之两面而除去附着于该支持板之有机物的有机物除去工程。
地址 日本
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