发明名称 搬运系统及搬运方法
摘要
申请公布号 TWI513640 申请公布日期 2015.12.21
申请号 TW100139958 申请日期 2011.11.02
申请人 村田机械股份有限公司 发明人 太田达司;福岛正纯;伊藤靖久
分类号 B65G1/04;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G1/04
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种搬运系统,为了在清净室内的复数处理装置之间搬运物品,具备:通过处理装置的装载埠的上部的高架行走车轨道;及沿着前述高架行走车轨道朝一方向行走且设有吊车的高架行走车,其特征为,具备:区域轨道,是在前述高架行走车轨道的下方,沿着前述一方向从处理装置的装载埠的上游侧至下游侧,于装载埠的上方与高架行走车轨道平行地被配置,且从清净室的顶棚侧被支撑;及区域台车,是行走于前述区域轨道,且设有将物品昇降用吊车;及第1暂存区;及第2暂存区;前述第1暂存区,是在比处理装置的装载埠高的位置,藉由从清净室的顶棚侧被支撑,在前述区域轨道的下部且沿着前述一方向,被固定于处理装置的装载埠的上游侧且错开装载埠的正上部,且其设置的高度,是若载置有物品时,只有未支撑有物品的区域台车可行走,若未载置物品时,支撑有物品的区域台车及未支撑有物品的区域台车皆可在上方可行走自如,高架行走车及区域台车皆可将物品收授自如,且只可载置1个物品地构成,前述第2暂存区,是在比处理装置的装载埠高的位置 ,藉由从清净室的顶棚侧被支撑,在前述区域轨道的下部且沿着前述一方向,被固定于处理装置的装载埠的下游侧且错开装载埠的正上部,且其设置的高度,是若载置有物品时,只有未支撑有物品的区域台车可行走,若未载置物品时,支撑有物品的区域台车及未支撑有物品的区域台车皆可在上方可行走自如,高架行走车及区域台车皆可将物品收授自如,且只可载置1个物品地构成。
地址 日本
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