| 发明名称 | 应用于微机电系统中之悬吊梁结构 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI514444 | 申请公布日期 | 2015.12.21 |
| 申请号 | TW100124475 | 申请日期 | 2011.07.11 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 杨进盛 |
| 分类号 | H01L21/08;H01L21/30 | 主分类号 | H01L21/08 |
| 代理机构 | 代理人 | 郭晓文 台北市文山区罗斯福路6段407号4楼 | |
| 主权项 | 一种悬吊梁结构，包含：一基板；一悬吊梁主体，其一端固定至该基板，另一端悬空；以及一第一金属导线结构，镶嵌于该悬吊梁主体之中，且环绕部分该悬吊梁主体，该第一金属导线结构之宽度小于该悬吊梁主体之宽度。 | ||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 | ||