| 摘要 |
1. Держатель подложек, содержащий сплошное основание с посадочными площадками для подложек, отличающийся тем, что посадочные площадки выполнены с посадочной поверхностью, соответствующей габаритам подложек и ограниченной по периметру ограничительными бортиками, а в области укладки подложек на посадочной поверхности выполнены углубления с по меньшей мере одним отверстием в дне для фиксации подложек.2. Держатель подложек по п.1, отличающийся тем, что подложка представляет собой полупроводниковую или диэлектрическую пластину, в частности кремниевую пластину.3. Держатель подложек по п.1, отличающийся тем, что сплошное основание выполнено из алюминиевых или титановых сплавов, стали или композитных материалов. |
