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<p>예를 들면, Si 웨이퍼의 표면 상에 형성되는 다수개의 전자 부품의 전기적 특성을 동시에 그리고 정확히 검사하기 위한 전자-부품 검사 장치용 와이어링 기판을 제공하기 위한 것이다. 전자-부품 검사 장치용 와이어링 기판(K)은 적층된 다수개의 세라믹 층(s1~s8)으로 이루어지며 전면(2) 및 후면(3)을 갖는 기판 몸체(1); 및 상기 기판 몸체(1)의 전면(2) 상에 형성되는 전면 단자 전극(f)으로 이루어진다. 검사할 단일 전자 부품(cn)의 다수개의 단자 전극(m)에 상응하게 배치되는 다수개의 전면 단자 전극(f)에 의하여 구성되는 개별적인 상기 단위 검사 패턴(a1)은, 상기 단위 검사 패턴(a1)의 중심(g)이 상기 단위 검사 패턴(a1)의 중심(g)을 통과하는 수직 가상선(L1~L3) 및 수평 가상선(N1~N4) 사이의 교대 교점에 일치되도록, 상부로부터 보인 바와 같이, 수직 및 수평 방향으로 규칙적으로 배열된다.</p> |
