SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF THEREOF

摘要

반도체 소자 및 그 형성방법이 제공된다. 이 반도체 소자의 형성방법은 기판 상에 복수의 원소를 포함하는 게이트 유전막을 형성하는 것, 게이트 유전막에 특정 원소를 공급하는 것, 복수의 원소 중 적어도 한 원소와 특정 원소를 반응시켜 생성물을 형성하는 것 및 생성물을 제거하는 것을 포함할 수 있다.