APPARATUS AND METHOD FOR INVESTIGATING AN OBJECT

摘要

본 발명은 스캐닝 입자 현미경(120)과 프로브를 갖는 적어도 하나의 스캐닝 프로브 현미경(140)으로 대상을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것이고, 상기 스캐닝 입자 현미경(120) 및 상기 적어도 하나의 스캐닝 프로브 현미경(140)은 공통 진공실(102)에서 서로에 대해 이격되어, 상기 스캐닝 입자 현미경(120)의 광학축과 스캐닝 입자 현미경(120)의 광학축에 수직 방향으로의 측정점(195) 사이의 거리는 상기 스캐닝 프로브 현미경(140)과 상기 스캐닝 입자 현미경(120) 양쪽의 최대 시계보다 크고, 상기 방법은 상기 스캐닝 프로브 현미경(140)의 측정점(195)과 상기 스캐닝 입자 현미경(120)의 광학축 사이의 거리를 결정하는 단계를 포함한다.