| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelanordnung mit einer Spiegelmembran, mit mindestens einem ersten Trägerelement, mit einem ersten Koppelelement für jedes erste Trägerelement, welches zwischen der Spiegelmembran und dem jeweiligen ersten Trägerelement angeordnet ist und ausgebildet ist, das jeweilige erste Trägerelement mit der Spiegelmembran mechanisch zu koppeln, mit mindestens einem zweiten Trägerelement, welches mit dem mindesten einen ersten Trägerelement mechanisch gekoppelt ist, und mit einem zweiten Koppelelement für jedes zweite Trägerelement, welches ausgebildet ist, mechanisch kontaktiert zu werden. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Mikrospiegelanordnung.</p> |
