| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem in Bezug zu einer Halterung (10) verstellbaren Teil (12), welches zumindest über eine Aufhängestruktur (16) an der Halterung (10) aufgehängt ist, wobei Eigenschwingungen der Aufhängestruktur (16) derart anregbar sind, dass das verstellbare Teil (12) in Bezug zu der Halterung (10) mittels der in die Eigenschwingungen versetzten Aufhängestruktur (16) in eine resonante Schwingbewegung um eine erste Drehachse (34a) und in eine quasi-statische Schwingbewegung um eine geneigt zu der ersten Drehachse (34a) ausgerichtete zweite Drehachse (34b) versetzbar ist, und wobei das verstellbare Teil (12) direkt oder über mindestens eine Feder (20) an mindestens einem Schwingungsknotenpunkt mindestens einer der angeregten Eigenschwingungen der Aufhängestruktur (16) angebunden ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.</p> |
