| 摘要 |
<p>Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine harte Antireflexbeschichtung hinsichtlich der Kratzfestigkeit zu verbessern. Dazu ist ein optisches Element (1) mit einem im sichtbaren Spektralbereich transparenten Substrat (10), sowie einer auf dem Substrat (10) abgeschiedenen mehrlagigen Antireflexbeschichtung (2) vorgesehen, welche abwechselnd Lagen mit einem ersten Brechungsindex und einem zweiten, höheren Brechungsindex aufweist, wobei die Lagen mit höherem Brechungsindex Nitrid- oder Oxinitrid und die Lagen mit erstem Brechungsindex Oxid von Silizium und zumindest einem weiteren Element enthalten, und wobei der molare Anteil von Silizium in den Lagen mit erstem Brechungsindex gegenüber molaren Anteilen des oder der weiteren Elemente überwiegt, und wobei die oberste Lage der mehrlagigen Antireflexbeschichtung eine Lage mit erstem Brechungsindex ist, und wobei auf der Antireflexbeschichtung eine Lage (3) kettenförmiger fluororganischer Moleküle angeordnet ist, wobei die Moleküle endseitig an die Oberfläche des optischen Elements gebunden sind.</p> |
