发明名称 A Manufacturing Method of metal mesh electrode and a Organic Electroluminescence Display Device comprising the metal mesh electrode
摘要 <p>본 발명은 베이스 부재를 제공하는 단계; 상기 베이스 부재의 상부에 크로메이트층을 형성하는 단계; 상기 크로메이트층의 상부에 포토레지스트막 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트막 패턴을 포함하는 상기 크로메이트층의 상에 금속 전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트막 패턴을 제거하는 단계; 상기 포토레지스트막 패턴이 제거되고, 상기 크로메이트층의 상부에 금속 전극 패턴을 포함하는 상기 베이스 부재의 전면(全面)에 경화성 고분자층을 형성하는 단계; 및 상기 경화성 고분자층과 상기 베이스 부재를 분리하는 단계를 포함하는 금속 전극 패턴의 제조방법 및 금속 전극 패턴을 포함하는 유기전계발광소자에 관한 것으로, 서로 대향 배치되는 제1전극 및 제2전극 중 적어도 어느 하나의 전극을 금속 전극 패턴으로 형성함으로써, 고가의 주석도핑 산화인듐을 금속 메쉬 패턴으로 대체할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101577656(B1) 申请公布日期 2015.12.17
申请号 KR20140031143 申请日期 2014.03.17
申请人 한국기계연구원 发明人 이주열;정용수;임동찬;임재홍;송영섭;황양진;차수섭
分类号 H01L21/027;H01L51/56 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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