摘要 |
<p>Leckprüfvorrichtung zur Messung des Differenzdrucks zwischen einer Prüfkammer (10) und einer Referenzkammer, die durch ein erstes Absperrventil (24) von der Prüfkammer (10) gasdicht abtrennbar ist, wobei ein Differenzdrucksensor (34) mit der Referenzkammer und der Prüfkammer (10) verbunden ist, um die Druckdifferenz zwischen dem Innendruck der Referenzkammer und dem Innendruck der Prüfkammer (10) zu messen, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfkammer (10) und die Referenzkammer jeweils mindestens einen aus einer flexiblen Folie gebildeten Wandbereich aufweisen, wobei das Verhältnis des Prüfkammervolumens (20) zu der Oberfläche des an der Prüfkammervolumen (20) angrenzenden flexiblen Wandbereichs der Prüfkammer (10) und das Verhältnis des Referenzkammervolumens zu der Oberfläche des an das Referenzkammervolumen angrenzenden flexiblen Wandbereichs der Referenzkammer im Wesentlichen gleich sind.</p> |