发明名称 Differenzdruckmessung mit Folienkammer
摘要 <p>Leckprüfvorrichtung zur Messung des Differenzdrucks zwischen einer Prüfkammer (10) und einer Referenzkammer, die durch ein erstes Absperrventil (24) von der Prüfkammer (10) gasdicht abtrennbar ist, wobei ein Differenzdrucksensor (34) mit der Referenzkammer und der Prüfkammer (10) verbunden ist, um die Druckdifferenz zwischen dem Innendruck der Referenzkammer und dem Innendruck der Prüfkammer (10) zu messen, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfkammer (10) und die Referenzkammer jeweils mindestens einen aus einer flexiblen Folie gebildeten Wandbereich aufweisen, wobei das Verhältnis des Prüfkammervolumens (20) zu der Oberfläche des an der Prüfkammervolumen (20) angrenzenden flexiblen Wandbereichs der Prüfkammer (10) und das Verhältnis des Referenzkammervolumens zu der Oberfläche des an das Referenzkammervolumen angrenzenden flexiblen Wandbereichs der Referenzkammer im Wesentlichen gleich sind.</p>
申请公布号 DE102014211228(A1) 申请公布日期 2015.12.17
申请号 DE201410211228 申请日期 2014.06.12
申请人 INFICON GMBH 发明人 WETZIG, DANIEL;DECKER, SILVIO
分类号 G01M3/26;G01L13/00 主分类号 G01M3/26
代理机构 代理人
主权项
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