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发明名称
ABTRAGSOPTIMIERTE BEARBEITUNG VON OPTISCHEN ELEMENTEN
摘要
申请公布号
DE102015214381(A8)
申请公布日期
2015.12.17
申请号
DE201510214381
申请日期
2015.07.29
申请人
CARL ZEISS JENA GMBH;CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
KUHLMANN, VOLKER;BUSTAUS, CHRISTIAN;VAUTH, SEBASTIAN
分类号
B24B49/00;B23Q15/007;B24B13/00;B24B49/02;G05D5/02
主分类号
B24B49/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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