发明名称 ABTRAGSOPTIMIERTE BEARBEITUNG VON OPTISCHEN ELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE102015214381(A8) 申请公布日期 2015.12.17
申请号 DE201510214381 申请日期 2015.07.29
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH;CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 KUHLMANN, VOLKER;BUSTAUS, CHRISTIAN;VAUTH, SEBASTIAN
分类号 B24B49/00;B23Q15/007;B24B13/00;B24B49/02;G05D5/02 主分类号 B24B49/00
代理机构 代理人
主权项
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