| 摘要 |
<p>検査システム用の代表的照射光源は、約１１０４ｎｍの波長のパルスシードレーザー、及び約１１６０ｎｍの波長の連続波ラマンシードレーザーを備える。光カプラは、パルスシードレーザーの出力と連続波ラマンシードレーザーの出力とを結合してよい。前置増幅段は、光カプラの出力を受けてよい。出力増幅器は、前置増幅段の出力を受けてよい。第６高調波は、増幅された結合された波長を用いて生成できる。レチクル、フォトマスク、又はウエハなどの試料の検査用システムは、本明細書で記載の照射光源の内の１つを備えてよい。</p> |
