摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelvorrichtung mit einer Antriebseinrichtung, welche ein bewegliches Antriebselement, welches in einer ersten Ebene liegt, und eine Führungseinrichtung aufweist, und mit einem Spiegel, welcher federnd mit dem Antriebselement gekoppelt ist und in Ruheposition in einer zweiten Ebene liegt, welche parallel zu der ersten Ebene liegt, wobei die Führungseinrichtung ausgebildet ist, eine Bewegung des Antriebselements auf einer in der ersten Ebene liegenden Gerade zu führen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine entsprechende Projektionseinrichtung.</p> |