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Eine Laserbearbeitungsvorrichtung umfasst eine das Laserlicht emittierende Laserlichtquelle, einen das von der Laserlichtquelle emittierte Licht modulierenden räumlichen Lichtmodulator, und ein konvergierendes optisches System, welches das vom räumlichen Lichtmodulator modulierte Laserlicht am Objekt konvergiert. Eine Vielzahl von Reihen modifizierter Bereiche beinhaltet zumindest einen eintrittsflächenseitigen modifizierten Bereich, der sich an der Seite der Eintrittsfläche des Laserlichtes befindet, einen gegenflächenseitigen modifizierten Bereich, der sich an der Seite der Oberfläche befindet, die der Eintrittsfläche des Laserlichtes gegenüberliegt, und einen mittleren modifizierten Bereich, der sich zwischen dem eintrittsflächenseitigen modifizierten Bereich und dem gegenflächenseitigen modifizierten Bereich befindet. Beim Herausbilden des mittleren modifizierten Bereiches zeigt der räumliche Lichtmodulator ein Axikon-Linsenmuster als Modulationsmuster an, um Konvergenzpunkte an einer Vielzahl von entlang der Laserlichtbestrahlungsrichtung nah beieinander nebeneinander liegender Positionen herauszubilden. Beim Herausbilden des eingangsseitigen modifizierten Bereiches und des gegenflächenseitigen modifizierten Bereiches wird der räumliche Lichtmodulator daran gehindert, das Axikon-Linsenmuster als Modulationsmuster anzuzeigen. |
